20世纪未,科技的进步使新一代显微放大技术问世。1985年,Binnig 和Rohrer 发明的扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscopy),STM)使得他们获得了1986年度诺贝尔物理奖,在此基础上Binnig,Quate和Gerber于1986年又发明了原子力显微镜(atomie force microscope,AFM)STM和AFM统称为扫描针显微镜,它们的分辨率可达到纳米级,即十亿分之一米。纳米,又称毫微米符号为nm。扫描探针显微镜的发明标志着一门以0.1至100纳米这样的尺度为研究对象的新学科的诞生,即纳米科技。

1986年原子显微镜问世(可放大100万倍以上),看到了分子,原子。

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